Cible en titane PVD

The density of titanium is 4.506-4.516 grams per cubic centimeter (20 degree ), which is higher than that of aluminum and lower than that of iron, copper, and nickel. But the specific strength is at the top of the metal. Melting point 1668±4 degree Titanium has poor thermal conductivity and electrical conductivity, similar to or slightly lower than stainless steel, and titanium has superconductivity.

Principales exigences de performance de la cible en titane PVD : la pureté est le principal indice de performance du matériau cible, car la pureté du matériau cible a une grande influence sur les performances du film. Mais en pratique, la pureté du matériau cible n'est pas la même. Par exemple, avec le développement rapide de l'industrie de la microélectronique, la taille de la plaquette de silicium passe de 6 ", 8 " à 12 ", et la largeur de câblage diminue de 0.5um à 0.25um, 0.18um ou même 0.13um. Dans le passé, 99,995 % de la pureté cible pouvait répondre aux exigences technologiques de 0.35UMIC. La préparation de 0. La ligne 18um nécessite une pureté de 99,999 % ou même de 99,9999 % du matériau cible. Teneur en impuretés : les impuretés dans le solide du matériau cible et l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution des films déposés. Différents matériaux cibles à des fins différentes ont différentes exigences pour différentes teneurs en impuretés.

Caractéristiques du matériau PVD Titanium Target :

1, l'utilisation d'un revêtement de dépôt de phase, augmente la résistance de la surface de l'outil.

2, l'utilisation de la production de technologie de pointe de métal pur et de la conception scientifique avancée de la structure du matériau cible.

3 Utilisez un matériau cible en métal pur et en alliage, une pureté élevée, une densité élevée, une excellente structure, une longue durée de vie.

4, les spécifications du produit sont complètes, y compris les formes circulaires, circulaires, rectangulaires et tubulaires, les tailles peuvent être personnalisées en fonction des besoins des utilisateurs.

Métaux non-ferreux, métaux rares, traitement et vente d'équipements mécaniques et électriques (sauf fonderie) ; S'engager dans l'importation et l'exportation de produits dans le cadre des activités de l'entreprise. (Pour les projets soumis à approbation conformément à la loi, les activités commerciales ne peuvent être exercées qu'après approbation par les services concernés).

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La pièce en titane a une large perspective d'application dans l'aérospatiale et d'autres domaines en raison de ses excellentes performances, mais elle est également limitée par son efficacité de traitement et son coût de production. Avec le développement et le développement de l'alliage de titane, l'augmentation des variétés de matériaux en titane et la baisse des prix, l'application du titane dans l'industrie civile augmentera de façon exponentielle, en particulier dans la construction navale, la fabrication automobile, l'industrie chimique, l'électronique, le développement marin, la biomédecine, l'eau de mer. le dessalement, la production d'énergie géothermique, la corrosion des eaux usées et d'autres domaines civils seront largement utilisés. Dans le même temps, la demande du marché accélérera également le développement de l'industrie du titane et de la technologie de traitement des matériaux en titane.

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